XYZ并联式纳米定位/扫描平台基于微纳柔性机构和压电执行器实现超高分辨力纳米运动,内置光栅/电容微位移传感器,通过高性能纳米伺服系统实现闭环控制,具有亚纳米级运动分辨率、纳米级运动精度和高速、高动态轨迹扫描功能。
支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。
技术特点:
超高定位精度
多轴高动态协同联动
无摩擦、零间隙、免装配
高刚度、高负载
紧凑型结构设计
轴间运动学解耦设计
多运动模式:定位/扫描
可实现正置、倒置的灵活应用
真空兼容性,温度使用范围广
应用领域:
扫描电子显微镜
同步辐射光源
显微操作
双光子聚合
规格参数:
型号 | NP-ST-XYZ-100 |
运动轴 | X,Y,Z |
行程(um) | 100/X轴,100/Y轴,50/Z轴 |
闭环分辨率(nm) | 0.35 |
传感器类型 | 电容式传感器 |
X/Y/Z向上的空载谐振频率(Hz) | 600/600/550 |
负载(g) | 200 |
工作温度范围(℃) | 0~80 |
材料 | 铝合金、钛合金 |
外形尺寸(mm) | 40x40x41 |
质量(g) | 150 |
纳米定位平台 纳米位移台 柔性铰链平台 电控位移台 高精度电控位移台 精密滑台 压电平台 压电纳米台 纳米压电平台 纳米定位台 压电柔性铰链平台 压电扫描台 压电定位台 压电纳米定位台
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