高精度纳米转台基于压电惯性驱动原理，提供无限行程的同时保证纳米级分辨率，借助独特的硬件及控制算法，可以在高频电压驱动下实现高速运动。纳米转台拥有极高的可拓展性和可集成性。

支持面向不同应用和需求的产品开发与定制。

技术特点：

• 高精度、高稳定性、高运动速度

• 轴心误差和晃动补偿与抑制

• 支持开环/闭环运动模式

• 超高真空兼容性

• 轻量化设计，结构紧凑

• 模块化设计，摩擦单元可替换

应用领域：

• 样品检验

• 精密微组装

• 光路切换

• 显微CT

• 机器视觉

• 半导体检测

机械参数：

精度参数：

工作环境：

资料下载

高精度纳米转台二维图+三维模型.zip